◎ 整套系统可实行自动或手动切换,不间断气体供给系统是专为持续供应气体而设计的、紧凑的、模块化的气体供应系统。系统本身经过洗净、吹扫等多道严格工艺工序来完成,确保气源的高纯度和安全性、稳定性。以满足工艺制程要求和实验要求的压力和流量,保证实验可持续和不间断供气需要;
◎ 采用洁净316或304不锈钢材型,内表面为AP处理;
◎ 所有管道采用TIG轨道自动焊接(数码焊接);
◎ 系统所用管件、阀门、表件管件均为进口产品(也可根据客户定制);
◎ 可选配气体探测警报设备和低压报警系统;
◎ 可提供整套方案的系统设计和规划预算;
◎ 应用范围:半导体、光伏、LED、TFT-LCD、光纤、化工、制药、食物/药剂、石化、科研院所或其他工业用户;
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