三、放大系统

　　其作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。不同的物理信号需要不同类型的检测系统，大致可分为三类：电子检测器，阴极荧光检测器和X射线检测器。 在扫描电子显微镜中普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。

　　当信号电子进入闪烁体时将引起电离;当离子与自由电子复合时产生可见光。光子沿着没有吸收的光导管传送到光电倍增器进行放大并转变成电流信号输出，电流信号经视频放大器放大后就成为调制信号。这种检测系统的特点是在很宽的信号范围内具有正比与原始信号的输出，具有很宽的频带(10Hz-1MHz)和高的增益(105-106),而且噪音很小。

由于镜筒中的电子束和显像管中的电子束是同步扫描，荧光屏上的亮度是根据样品上被激发出来的信号强度来调制的，而由检测器接收的信号强度随样品表面状况不同而变化，那么由信号监测系统输出的反营养品表面状态的调制信号在图像显示和记录系统中就转换成一幅与样品表面特征一致的放大的扫描像。

扫描电镜用途

是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，目前, 扫描电子显微镜已被广泛应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究,是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途广泛的一种仪器.

　　那扫描电镜的具体作用和用途有哪些呢?今天小编就带大家详细了解一下扫描电镜的作用

　　①观察纳米材料，扫描电镜的一个重要特点就是具有很高的分辨率。现已广泛用于观察纳米材料。材料微观放大成像，放大几倍~几十万倍。从毫米到纳米尺度!

　　②进行材料断口的分析

　　③直接观察大试样的原始表面，它能够直接观察直径100mm，高50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。

④观察厚试样，其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌

　　⑤观察试样的各个区域的细节。可以让试样在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)。且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。

　　⑥在大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试样的视场大。大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如刑事侦察和考古。

　　⑦进行从高倍到低倍的连续观察，放大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。

　　⑧观察生物试样。

　　⑨进行动态观察。

　　⑩扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。

　　⑪利用背散射电子BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像;

　　⑫用x射线能谱仪或波谱(EDS或WDS)采集特征x射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析、相鉴定。

　　由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。